Kaasaegsetes vaakumkatmisseadmetes on jämetöötlusetapp stabiilse kõrge{0}}vaakumtulemuse saavutamiseks kriitiline alus. Laialdaselt kasutatav konfiguratsioon on DLT.2V80 kahe-astmeline pöörlev labapump koos Rootsi pumbaga. See sidumine moodustab tõhusa eelvaakumseadme, mis suudab kiiresti vähendada kambri rõhku atmosfääritasemelt madala-vaakumvahemikuni, luues vajalikud tingimused järgnevaks kõrg-vaakumpumpamiseks. Selle süsteemi õige tööprotsessi ja tehnilise loogika mõistmine on oluline katte kvaliteedi säilitamiseks, seadmete kaitsmiseks ja pumba tööea pikendamiseks.
Karedussüsteem töötab etapiviisilise pumpamise põhimõttel. Kahe-astmeline pöördlabapump toimib tugipumbana, samas kui Rootsi pump tagab suure pumpamiskiiruse keskmise-kuni-madala vaakumiga vahemikus. Käivitamisel- vähendab pöörleva labaga pump kõigepealt kambri rõhku. Kui rõhk jõuab Rootsi pumba lubatud käivitusrõhuni, hakkab Rootsi pump tööle, kiirendades oluliselt gaasi eemaldamist. See koordineeritud pumpamine võimaldab kambril kiiresti üle minna atmosfäärirõhult madalale-vaakumvahemikule, mis on vajalik enne kõrg-vaakumpumpade (nagu difusioon- või turbomolekulaarpumbad) tööle asumist.
Protsessi põhinõue tekib pärast töötlemata pumpamisetapi lõppemist. Enne kõrgvaakumile üleminekut või vaakumi hoidmisetappi sisenemist tuleb töötlemistorustik tühjendada ja rõhk-tasakaaldada. Seda sammu jäetakse sageli tähelepanuta, kuid see on oluline vaakumi tagasivoolu vältimiseks. Kui jämetöötlusliini ja kambri vahel jääb rõhkude erinevus, võib pöörleva labapumba vaakumõli migreeruda tagasi Rootsi pumba õõnsusse, torustike või isegi kattekambrisse. Õli saastumine võib tõsiselt kahjustada õhukese kihi kvaliteeti, blokeerida gaasikanaleid ja suurendada hoolduskulusid.
Nõuetekohane tööprotsess algab kohe pärast seda, kui kamber on saavutanud soovitud töötlemata vaakumi taseme. Esmalt tuleks sulgeda kambrit töötlemisliiniga ühendav põhiventiil. See isoleerib kambri tugipumbasüsteemist ja hoiab ära kontrollimatud rõhukõikumised. Järgmisena tuleb töötlemistorustikusse juhtida kuiva lämmastikku või puhast kuiva suruõhku, et juhtida mikro-rõhuga õhutusprotsessi. See samm võrdsustab aeglaselt rõhu torujuhtmes atmosfääritaseme lähedale, ilma niiskust või saasteaineid lisamata.
Eelistatakse kuiva lämmastikku, kuna see on inertne ega sisalda veeauru ega hapnikku, mis mõlemad võivad lagundada vaakumõli ja saastada pumba sisemisi komponente. Kui lämmastikku pole saadaval, võib kasutada filtreeritud ja kuivatatud suruõhku, eeldusel, et on paigaldatud õli- ja niiskuspüüdurid. Selle etapi eesmärk ei ole kambri täielik õhutamine, vaid rõhu stabiliseerimine töötlemistorustiku sees. Ainult siis, kui torujuhtme rõhk taastub ohutule tasemele, peaks süsteem lülituma vaakumi hoidmise režiimile või seiskamisele.
Selle torujuhtme rõhu taastamise protsessi tähtsus ulatub kaugemale puhtusest. Samuti kaitseb see pumpamissüsteemi mehaanilist terviklikkust. Pöördlabapumbad kasutavad tihendamiseks, määrimiseks ja jahutamiseks vaakumõli. Äkilised rõhuerinevused võivad põhjustada õli migratsiooni, vahutamist või tagasivoolu. Roots pumbad, mis töötavad ilma sisemise määrimiseta survekambris, on eriti tundlikud tugipumbaõli saaste suhtes. Rõhu stabiliseerimisega enne isoleerimist vähendavad kasutajad kulumist, hoiavad ära pumba kinnikiilumise ja minimeerivad hooldussagedust.
Võrreldes ühe-pumbaga töötlemissüsteemidega pakub pöördlaba ja Rootsi pumba kombinatsioon suuremat pumpamiskiirust, lühemat pumba-seisakuaega ja paremat stabiilsust tööstuslikes katmistsüklites. See suurem jõudlus nõuab aga ka rangemat tegevusdistsipliini. Torujuhtme õhutamine, ventiilide järjestamine ja kuiva gaasi kaitse ei ole valikulised sammud; need on protsessi kavandamise lahutamatud osad.
Tööstuse vaatenurgast on saastetõrje muutunud üha olulisemaks, kuna kattetehnoloogiad arenevad suurema täpsuse ja õhemate kilede suunas. Isegi õliauru jäägid võivad mõjutada ladestunud kihtide adhesiooni, optilist jõudlust või elektrilisi omadusi. Seetõttu peetakse standardiseeritud töötlemisprotseduure nüüd vaakumkatte tootmise kvaliteedikontrolli osaks.
Kokkuvõttes on töötlemine DLT.2V80 kaheastmelise pumba ja Rootsi pumba kombinatsiooniga enamat kui lihtne eelvaakum{3}. See on hoolikalt kontrollitud protsess, mis hõlmab etapiviisilist pumpamist, ventiili isoleerimist, kuiva gaasi õhutamist ja rõhu stabiliseerimist. Nende kasutusjuhiste järgimine tagab puhtad vaakumtingimused, kaitseb kriitilisi pumba komponente ja tagab ühtlase katte toimimise pikkade tootmistsüklite jooksul.